准分子激光器（Excimer Laser），以准分子为工作物质的一类气体激光器件。常用相对论电子束（能量大于200千电子伏特）或横向快速脉冲放电来实现激励。当受激态准分子的不稳定分子键断裂而离解成基态原子时，受激态的...
准分子激光器（Excimer Laser），以准分子为工作物质的一类气体激光器件。准分子激光器波长特性- 短波长：准分子激光器的输出波长主要处于紫外波段，通常在193-351纳米之间。例如，最常见的ArF（氩氟）准分子激光器的...
